在中国举行的 2025 年 SEMiBAY 活动上，多家公司展示了中国不断增长的半导体能力，其中包括与华为相关的设备制造商 SiCarrier 的子公司。除了 SiCarrier 之外，另一家公司还因其在光刻方面的进步而受到关注。据《南华早报》报道，中国新兴光刻设备制造商 AMIES Technology 推出的产品被视为标志着中国在减少对荷兰巨头 ASML 依赖方面的新势头。
据科创板日报报道，AMIES 是中国领先的国有光刻公司上海微电子设备 （SMEE） 的分拆公司。SMEE 专注于开发核心前端工具，而 AMIES 则寻求加速其设备的商业化。据STCNN报道，SMEE自研的600系列光刻系统已在90nm节点进入量产，目前正在开发28nm浸没式模型。
《南华早报》指出，AMIES 在此次活动中展示了多样化的产品组合，包括化合物半导体光刻机、激光退火系统、先进的检测工具以及封装和晶圆键合解决方案。
AMIES 展示光刻和封装设备方面的进展
正如科创板日报所指出的那样，AMIES 的先进封装光刻机专为高端芯片封装应用而设计，包括人工智能和高级智能终端。报告补充说，它具有高分辨率、超大曝光场以及对高度翘曲基板的支持，满足晶圆和面板级先进封装的要求，例如倒装芯片、扇入、扇出 WLP/PLP 和 2.5D/3D 集成。
该公司声称其产品已获得业界的广泛认可。据《南华早报》报道，AMIES 表示，其先进封装光刻机在全球市场占有 35% 的份额，在中国占有约 90% 的份额。2025 年 8 月，据ITHome报道，AMIES 宣布出货其第 500 台步进光刻机。
推动中国光刻技术发展的其他主要参与者
作为中国推动芯片自给自足的一部分，几家公司正在竞相开发国产 DUV 和 EUV 光刻系统。据《南华早报》报道，Zetop Technologies——由SiCarrier和美国批准的中国科学院长春光学精密机械与物理研究所部分拥有——其股东中有几位领先的EUV光学研究人员。
此外，《南华早报》援引英国《金融时报》的话指出，SiCarrier 也持有股份的上海宇量昇科技有限公司已向中国最大的代工厂中芯国际提供了 28 纳米 DUV 光刻系统，用于 7 纳米生产测试。
上海芯上微装科技股份有限公司（英文名称：AMIES Technology Co., Ltd.）成立于2025年2月，是一家专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业。公司致力于芯片制造、芯片先进封装、三代半导体和新型显示等核心领域提供高精度、高性能、高可靠性的设备解决方案。
深圳市新凯来技术有限公司（SiCarrier）致力于半导体装备及零部件、电子制造设备的研发、制造、销售与服务。