中国首条全自动化8英寸MEMS生产线投产

近日，中国电子系统工程二号建设有限公司（CESE2）宣布，中国蚌埠传感器谷8英寸MEMS晶圆生产线项目首批产品成功下线。这标志着我国首条全自动化8英寸MEMS晶圆生产线，也是首条拥有全套工艺设备的压电MEMS量产线正式投产。

此前，中国高端MEMS芯片严重依赖进口。该产线的投产有望有效缓解国内产能短缺，实现关键领域，特别是汽车电子和工业控制领域的国产化，从而保障产业链安全。

此外，中国首条全自动8英寸MEMS晶圆生产线的建立和投产，标志着蚌埠市从传统制造中心向以智能传感器为中心的创新中心转型。该国家战略性项目总投资50.6亿元人民币（7.1亿美元），占地79亩，规划总建筑面积约6万平方米。一旦全面建成，其每月3万片晶圆的海量产能不仅将巩固其在国内MEMS生产中的领先地位，还将支撑中国高端制造供应链的自主权和可控力。